日本Toppan計畫與美國IBM共同開發先進製程光罩技術
(113/04/09 11:29:02)

日本Toppan與IBM共同開發先進製程光罩技術

據媒體報導,日本Toppan計畫與美國IBM共同開發用於下世代半導體光罩技術,用於極紫外(EUV)光刻2奈米半導體製程。Toppan表示目標於2026年開始量產,供應給包括Rapidus等先進製程半導體製造商。

Toppen未來計畫在5年內,由Toppan朝霞工廠與IBM Albany Nanotech Complex共同合作開發光罩技術。

據悉目前僅台積電與韓國三星電子具備量產3奈米先進製造之光罩技術,日本之大日本印刷也正開發可用於3 奈米製成之光罩技術。

另一方面,日本新進製程半導體廠Rapidus計畫引進IBM技術,目標在2027年開始量產2奈米先進製程半導體。(資料來源:經濟部國際貿易署)


 
 
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